SEM是扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)的缩写。它利用聚焦电子束扫描样品表面,通过收集二次电子、背散射电子等信号成像。
与普通光学显微镜用可见光不同,SEM用电子束,因此能观察更微观的结构。