SEM孔径校准是什么？扫描电镜光阑孔径校准步骤有哪些？

SEM孔径校准直接影响成像质量与束流稳定，本文说明校准目的、光阑对中、孔径选择与束流检测的具体做法。
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1 个回答

不要未来只要你来

SEM孔径校准是指对扫描电镜光阑的孔径规格与对中状态进行检查和调整，它直接影响束流大小、分辨率与图像稳定性。

  • 先把电子枪电流调至饱和点，避免欠饱和造成亮度不足、误判对中。
  • 在低倍率下开启wobble（摇摆）功能对中光阑，调到图像只轻微缩放、中心不位移。
  • 按观察需求选择30、50或100μm光阑，用法拉第杯测束流核对实际电流，判断孔径是否堵塞或选错。
  • 清洁光阑后复校一次，并记录束流值，便于后续追溯与对比。

若对中反复失败，多与光阑积碳、机械松动或电子枪老化有关。

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