SEM仪器保养主要包括日常点检、定期清洁和关键部件维护：
- 每日检查真空度、冷却水、气路及环境温湿度；
- 定期清洁样品室、镜筒外表面和更换过滤网；
- 按厂家周期检查电子枪、探测器、真空泵和高压系统；
- 记录运行参数，发现漂移、异响或真空异常及时报修。
保养应由培训人员按SOP执行，并保留记录。
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擅长：蜘蛛代引