背散射SEM和普通SEM有什么区别?

在扫描电镜观察中,背散射SEM与普通SEM的成像信号和适用场景有何不同?
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1 个回答

一個人的浪漫

背散射SEM与普通SEM的核心区别在信号类型与成像目的。

  • 普通SEM通常指二次电子成像,主要反映样品表面形貌,分辨率高、景深大。
  • 背散射SEM使用背散射电子探测器,信号强度与样品原子序数相关,突出成分衬度,适合观察抛光截面、矿物相和异物颗粒。
  • 背散射模式分辨率通常低于二次电子模式,但对成分差异更敏感,常与普通SEM配合使用。

实际选择:看表面形貌用普通SEM,看成分差异用背散射SEM。

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