SEM晶界观察怎么做?扫描电镜分析晶界的常用方法

想用扫描电镜观察材料晶界,需要做哪些制样和处理?晶界在SEM下如何清晰显示?
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1 个回答

气人的人

用SEM观察晶界,关键是让晶界“显形”,常用方法有三种:

  • 金相腐蚀法:用合适腐蚀剂优先腐蚀晶界,晶界呈凹沟,二次电子像下明暗衬度明显,成本低、最常用。
  • EBSD法:无需腐蚀,通过背散射电子衍射标定晶粒取向,可直接输出晶界图与取向差分布,适合定量分析。
  • 背散射电子像:利用晶粒取向或成分差异形成衬度,适合原子序数差别较大的样品。

制样须抛光至镜面并去除应力层,腐蚀时间由短到长试腐蚀,避免过腐蚀掩盖晶界细节。

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