SEM如何测量薄膜厚度？

本文介绍扫描电子显微镜（SEM）测量薄膜或涂层厚度的原理、操作步骤及注意事项。
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1 个回答

感情早已陌生。

SEM测量厚度通常采用截面法：先制备垂直截面样品，经切割、研磨、抛光或FIB加工，必要时镀导电层。放入SEM后选择二次电子或背散射探头，调整加速电压与工作距离，拍摄清晰截面像。

  • 测量步骤：用图像软件按标尺测量层状结构上下边界间距。
  • 注意事项：确保截面垂直、放大倍数校准、边缘清晰，避免荷电和倾斜误差。

误差主要来自样品倾斜、标尺校准和边界判断，建议多视场取平均。

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